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GT61A

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GT61A

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品牌 Gigaphoton
分类激光模块与系统
产地日本
更新日期 2025-11-01

产品概述

GT61A是一款高性能的氪氟激光器，专为超高数值孔径的浸没式光刻工具设计。它的工作波长为193 nm，能够提供高达60 W的平均输出功率，适合用于半导体制造等高精度应用。其脉冲能量为10 mJ，具有6000 Hz的高重复频率，确保了在生产过程中的高效率和稳定性。GT61A的设计还考虑到了维护成本，延长了激光腔的使用寿命，减少了设备的停机时间。此外，该激光器的高精度测量仪器和稳定机制，使其在光谱稳定性方面表现出色，是光电行业中不可或缺的设备。
规格参数
产品详情
- 部件编号:
  GT61A
- 厂家:
  Gigaphoton
- 描述:
  193 nm氪氟激光器，用于超高数值孔径浸没式光刻工具
通用参数
- 配置:
  带控制单元的激光头（集成）
- 类型:
  激光系统
- 技术:
  氪氟激光
- 工作模式:
  脉冲激光
- 功率:
  60 W
- 波长:
  193 nm
- 可调性:
  否
- 光纤耦合:
  否
- 激光颜色:
  紫外光
- 脉冲能量:
  10 mJ
- 增益介质类型:
  气体激光器
- 激光腔材料:
  ArF
- 激光增益介质:
  氪氟激光
- 应用行业:
  汽车/工业与制造
- 重复频率:
  6000 Hz
- 带宽:
  0.35 pm
产品应用

1. 超高数值孔径浸没式光刻 2. 半导体制造 3. 高精度光学测量
产品特征

1. 脉冲激光技术 2. 高输出功率 3. 稳定的光谱性能 4. 低维护成本 5. 高重复率 6. 高精度测量
产品详细描述

这是一个用于超高数值孔径浸没式光刻工具的193 nm氪氟激光器。
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