GT61A

GT61A是一款高性能的氪氟激光器，专为超高数值孔径的浸没式光刻工具设计。它的工作波长为193 nm，能够提供高达60 W的平均输出功率，适合用于半导体制造等高精度应用。其脉冲能量为10 mJ，具有6000 Hz的高重复频率，确保了在生产过程中的高效率和稳定性。GT61A的设计还考虑到了维护成本，延长了激光腔的使用寿命，减少了设备的停机时间。此外，该激光器的高精度测量仪器和稳定机制，使其在光谱稳定性方面表现出色，是光电行业中不可或缺的设备。