IMS5400-DS

IMS5400-DS是Micro-Epsilon推出的一款白光干涉仪，能够测量厚度范围为0.01 mm至1.3 mm，分辨率小于1 nm，测量频率可调范围从100 Hz到6 kHz。这款干涉仪配备840 nm波长的NIR-SLED光源和635 nm波长的引导激光，具有±50 nm的线性度和±2°的测量角度。IMS5400-DS采用IP65（传感器）和IP40（控制器）防护等级，并可选配超高真空（UHV）配置。它包含16位D/A转换器，可通过以太网、EtherCAT、RS422、PROFINET或EtherNet/IP接口进行控制，工作所需的直流电压为24 V，功耗为10 W。该干涉仪的铝制外壳尺寸为Φ10 x 55 mm，特别适合工业距离测量应用。