SID4 UV HR

SID4 UV HR

PHASICS

190 nm - 400 nm, UV 波前传感器，用于表面检测应用

高分辨率

四波长侧切干涉（QWLSI），侧切干涉

190 to 400 nm

20 nm RMS

15 fps

USB 3.0

13.3 mm x 13.3 mm

2 nm RMS

实时 3 fps

512 x 512

2 nm RMS

26 µm

80.3 x 78.6 x 108.2 mm3

600 g

激光行业，天文学，半导体，航空航天