PIXIS-XO: 2KB

PIXIS-XO: 2KB

Teledyne Princeton Instruments

X射线光谱学, EUV光刻与X射线等离子体诊断

科学与研究

USB

区域扫描相机

1 MP

2048(H) x 512(V)

CCD

13.5 x 13.5 µm

传感器尺寸: 27.6 x 6.9 mm

100 ke-, 250 ke-, 750 ke-

0.001 e-/pixel/sec

1% @ 100 kHz, 2% @ 2 MHz

3.5 e- rms (通常值), 6 e- rms (最大值) @100 kHz, 14 e- rms (通常值), 20 e- rms (最大值) @2 MHz

紫外线

热电冷却 (TEC), 液体冷却, 风冷

5至30摄氏度 (非凝结)

1.5, 3, 6 e-/ADU

1 MP

15.2 µsec/row

CE

Windows XP/Vista/7 Linux

紫外线

100 kHz/16-bit 和 2 MHz/16-bit

100 kHz/16-bit 和 2 MHz/16-bit

Teledyne e2V

CCD4210 -CCD60

35光谱/秒@ 100 kHz, 90光谱/秒@ 2 MHz

16.59 x 11.81 x 11.38 cm

2.27 kg (5 lbs)

±0.05°C