D1384-aQ170-7 (MUV)
ISOMET
266 nm,石英晶体材料声光偏转器,衍射效率80%
材料加工,钻孔,表面纹理处理,微加工
双轴
>1000:1, 2000:1
2.8到3 mrad
5到7 mm
垂直,与扫描垂直
石英
中紫外
7.4到7.9 mrad
3.7到4 mrad
>80%
248 nm, 266 nm
130到210 MHz
50 欧姆
<2到3%
<0.5%
可分辨高达60个点,>1000个不可分辨点
<1.50:1
170 MHz
70到80 MHz
10到12 W
水冷
2 L/minute