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IXION 193 SLM

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IXION 193 SLM

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品牌 Xiton Photonics GmbH
分类激光模块与系统
产地德国
更新日期 2025-09-17

产品概述

IXION 193 SLM激光器是一款专为光刻和相关应用设计的高性能激光器。其工作波长为193.368 nm，具有10 mW的输出功率和1.6 µJ的脉冲能量，非常适合需要高精度的光学测量和制造过程。该激光器的脉冲宽度在8 ns到12 ns之间，具有良好的重复性和稳定性，适合于科研、工业生产等多个领域。IXION 193 SLM的设计紧凑，便于集成到现有的实验室设备中，并可通过简单的图形用户界面进行操作，极大地方便了用户的使用体验。其高质量的光束输出和可靠的性能使其成为光谱仪校准和激光注入等应用的理想选择。
规格参数
产品详情
- 部件编号:
  IXION 193 SLM
- 制造商:
  Xiton Photonics GmbH
- 描述:
  193.368 nm固态Q开关激光器，适用于光刻应用
通用参数
- 配置:
  带控制单元的激光头（集成）
- 类型:
  激光系统
- 技术:
  DPSS激光，Q开关激光
- 操作模式:
  脉冲激光
- 应用:
  光谱仪校准、光刻、干涉测量、193 nm计量、激光器注入种子
- 功率:
  10 mW
- 波长:
  193.368 nm
- 超快激光:
  纳秒激光器
- 可调:
  否
- 光纤耦合:
  否
- 激光颜色:
  紫外线
- 脉冲宽度:
  8 to 12 ns
- 脉冲能量:
  1.6 µJ
- 增益介质类型:
  气体激光器
- 激光腔材料:
  ArF
- 激光增益介质:
  氟化氢激光器
- 应用行业:
  科学研究, 汽车/工业与制造业
- 重复频率:
  1 to 15 kHz
- 光束质量因子 (M2):
  <1.6
- 横模:
  TEM00
- 带宽:
  80 MHz
- 激光类别:
  4类激光
- 功耗:
  650 W
- 脉冲间稳定性:
  <2.5%
- 包装:
  台式
- 电源:
  85 to 264 VAC, 47 to 63 Hz
- 备注:
  相干长度：>2 m，光谱调谐性：>80 GHz
物理特性
- 激光头尺寸:
  795 x 710 x 154 mm (L x W x H)
- 激光头重量:
  74 kg
- 电源尺寸:
  600 x 600 x 600 mm (L x W x H)
- 电源重量:
  78 kg
产品应用

1. 光谱仪校准 2. 光刻 3. 干涉测量 4. 193 nm计量 5. 激光器注入种子
产品特征

1. 固态Q开关激光器 2. 高输出功率 3. 精确的波长 4. 紧凑型设计 5. 支持多种应用
产品详细描述

这是一个适用于光刻应用的193.368 nm固态Q开关激光器。
企业介绍

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