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Verifire
Zygo Corporation
1.44百万像素的Fizeau干涉仪,适用于成像系统应用
Fizeau干涉仪
633 nm
4到6英寸
3 mW
1-5倍编码连续(1-50倍数字)
1200(高)x 1200(宽)
69 x 31 x 34 cm, 92 x 31 x 34 cm
± 2.5 m, ± 5.5 m
高功率稳定的HeNe激光
100到240 VAC, 50/60 Hz
38 kg, 45 kg
软件
15到30摄氏度
表面测量
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